各大领域的(de)生产(chan)商总在(zai)寻找(zhao)提升(sheng)利(li)润空(kong)间的(de)途径——目的(de)是(shi)在(zai)不影响(xiang)质量和(he)(he)安全的(de)前提下改善流程效(xiao)率(lv)。本(ben)文(wen)向您介绍原本(ben)用于半(ban)导体行业(ye)的(de)干式真(zhen)空(kong)泵技(ji)术，因其操(cao)作中的(de)清(qing)洁和(he)(he)高(gao)效(xiao)而开始向工业(ye)和(he)(he)实验(yan)室真(zhen)空(kong)流程转(zhuan)移。
干式(shi)(shi)真空泵(beng)(beng)(beng)使(shi)工(gong)作(zuo)容(rong)积中无油，因此(ci)带来了(le)(le)不(bu)少(shao)益处(chu)。首(shou)先(xian)，它(ta)增强了(le)(le)泵(beng)(beng)(beng)的(de)可靠性(xing)。干式(shi)(shi)真空泵(beng)(beng)(beng)不(bu)像油密封泵(beng)(beng)(beng)那样(yang)受到水蒸气或者尘粒的(de)影(ying)响(xiang)，因此(ci)它(ta)们更耐用，所(suo)需(xu)的(de)维护(hu)工(gong)作(zuo)更少(shao)。减少(shao)用油量还意味着(zhe)减少(shao)了(le)(le)认真处(chu)理油而花费的(de)成本。使(shi)用干式(shi)(shi)真空泵(beng)(beng)(beng)还使(shi)可能的(de)污染减到最小程度(du)，这种污染既可能出现在(zai)油里——影(ying)响(xiang)了(le)(le)泵(beng)(beng)(beng)的(de)性(xing)能，也可能出现在(zai)某些极端的(de)情(qing)况。
干(gan)式真空泵(beng)已经在(zai)半(ban)导体生产行(xing)业(ye)(ye)中(zhong)成功(gong)地(di)(di)运用了多(duo)年，并且在(zai)多(duo)种(zhong)行(xing)业(ye)(ye)里变得越(yue)来越(yue)普遍。干(gan)式泵(beng)已经做(zuo)好更加(jia)充(chong)分的准备来迎接来自于越(yue)来越(yue)多(duo)的工(gong)业(ye)(ye)应用领域(yu)的挑(tiao)战，传统的油密封技术曾(ceng)经在(zai)这些应用领域(yu)中(zhong)占了主导地(di)(di)位。
它们的(de)(de)应用日益增加(jia)的(de)(de)原因很(hen)清楚，因为(wei)它们可(ke)靠、耐磨、易于维(wei)护，给(ji)结果(guo)带来重大的(de)(de)好(hao)处。例如在(zai)恶劣的(de)(de)环境(jing)中所用的(de)(de)一台油(you)密封真空泵(beng)每年的(de)(de)维(wei)护费用大约是一台新(xin)泵(beng)成本的(de)(de)40％。
干式泵使正常工(gong)(gong)作时(shi)间更长(zhang)，并且(qie)由于它(ta)们具有可重复性(xing)，所以使生(sheng)产的(de)产量更高，节约(yue)了成(cheng)本。该技术不仅安全，而且(qie)它(ta)的(de)设(she)计使其即使在(zai)颇为苛刻的(de)工(gong)(gong)作环境中也能(neng)够无故障的(de)工(gong)(gong)作。